甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响（英文）
来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第10期
论文作者：姜金龙 陈娣 王琼 黄浩 朱维君 郝俊英
文章页码：2305 - 2310
关键词：a-C:H薄膜;中频磁控溅射;力学性能;摩擦性能;
摘 要：以甲烷为先驱气体通过中频磁控溅射Ti80Si20靶材在硅和不锈钢基底上制备TiSi-C:H薄膜,研究了甲烷流量对薄膜沉积速率、结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,甲烷流量对薄膜结构、力学和摩擦学性能有显著影响,随甲烷流量增加薄膜从包含约10 nm晶的锥状纳米晶/非晶复合结构向非晶结构转变,在低甲烷流量下沉积的薄膜具有高硬度、高应力和高磨损率;在高甲烷流量下薄膜硬度和应力降低,而摩擦学性能提高。薄膜力学和摩擦学性能的变化被认为是随甲烷流量增加薄膜结构演化的结果。
姜金龙1,2，陈娣1，王琼1，黄浩1，朱维君1，郝俊英2
1. 兰州理工大学2. 中国科学研究院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
摘 要：以甲烷为先驱气体通过中频磁控溅射Ti80Si20靶材在硅和不锈钢基底上制备TiSi-C:H薄膜,研究了甲烷流量对薄膜沉积速率、结构、力学和摩擦学性能的影响。结果表明,甲烷流量对薄膜结构、力学和摩擦学性能有显著影响,随甲烷流量增加薄膜从包含约10 nm晶的锥状纳米晶/非晶复合结构向非晶结构转变,在低甲烷流量下沉积的薄膜具有高硬度、高应力和高磨损率;在高甲烷流量下薄膜硬度和应力降低,而摩擦学性能提高。薄膜力学和摩擦学性能的变化被认为是随甲烷流量增加薄膜结构演化的结果。
关键词：a-C:H薄膜;中频磁控溅射;力学性能;摩擦性能;
