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微等离子体氧化法制备TiO2薄膜的性能研究

来源期刊:材料科学与工艺2004年第1期

论文作者:姜兆华 吴晓宏 刘惠玲 李宣东

关键词:钛合金; 微等离子体氧化; TiO2薄膜; 掺杂; 光催化;

摘    要:选用TA1钛合金,运用微等离子体氧化技术在其表面原位生长TiO2薄膜.在(Na3PO4-Na2B4O7)电解液体系中,采用XRD、SEM对钛合金表面成膜的微观结构进行测试研究,结果表明:当配比为4:1,成膜时间60min,电流密度10A/dm2条件下制得的薄膜,该膜层中TiO2主要为锐钛矿晶型,膜层均匀,表面粗糙多孔,孔洞大小适中;同时,在电解液中掺杂一定浓度的Fe3+、Si4+离子,当掺杂量分别为0.1~0.2g/L、0.5~1.0g/L条件下制备的薄膜,用于光催化氧化降解水中的罗丹明B,可以提高其光催化活性.

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微等离子体氧化法制备TiO2薄膜的性能研究

姜兆华1,吴晓宏1,刘惠玲2,李宣东1

(1.哈尔滨工业大学,理学院,黑龙江,哈尔滨,150001;
2.哈尔滨工业大学,市政环境工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001)

摘要:选用TA1钛合金,运用微等离子体氧化技术在其表面原位生长TiO2薄膜.在(Na3PO4-Na2B4O7)电解液体系中,采用XRD、SEM对钛合金表面成膜的微观结构进行测试研究,结果表明:当配比为4:1,成膜时间60min,电流密度10A/dm2条件下制得的薄膜,该膜层中TiO2主要为锐钛矿晶型,膜层均匀,表面粗糙多孔,孔洞大小适中;同时,在电解液中掺杂一定浓度的Fe3+、Si4+离子,当掺杂量分别为0.1~0.2g/L、0.5~1.0g/L条件下制备的薄膜,用于光催化氧化降解水中的罗丹明B,可以提高其光催化活性.

关键词:钛合金; 微等离子体氧化; TiO2薄膜; 掺杂; 光催化;

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