C/C复合材料CVD过程中气相反应分析

王坤杰^1,2，王洲¹，崔红^1,2，李爱军³

1. 西安航天复合材料研究所2. 高性能碳纤维制造及应用国家地方联合工程研究中心3. 上海大学

摘 要：以整体毡为预制体,丙烷为碳源,以沉积温度和气体滞留时间为考察变量,采用CVD法制备了C/C复合材料,并用偏光显微镜分析了热解碳结构,用气相色谱仪分析了尾气成分,并采用商用COMSOL软件分析了1 250 K以上成碳过程的中间气相产物和气相反应路径。结果表明:试样上下表面热解碳均为光滑层结构,高温下主要中间产物有H2、C2H2、C2H4、CH4,其中大分子结构、H2、C2H2浓度,随着温度的升高而增大,C2H4浓度随着温度的升高迅速减小,CH4浓度略有减小;具有较低C—H结合能而容易形成稳定的自由基的大分子浓度随滞留时间延长而先增加后下降,具有高不饱和结构的大分子随滞留时间的延长浓度变化不大;热解碳形成的复杂过程中C2H4具有重要的作用。

关键词：C/C复合材料;CVD;气相反应;