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纳米复合超硬薄膜的研究现状

来源期刊：无机材料学报2004年第1期

论文作者：范秋林胡行方宋力昕施尔畏赵红雨

关键词：超硬薄膜; 纳米复合结构; CVD; 磁控溅射;

摘要：自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

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范秋林¹，胡行方¹，宋力昕¹，施尔畏¹，赵红雨¹

(1.中国科学院上海硅酸盐研究所特种无机材料研究发展中心,上海,200050)

摘要:自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.

关键词:超硬薄膜; 纳米复合结构; CVD; 磁控溅射;

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