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平面霍尔效应传感器的原理与研究进展

来源期刊：磁性材料及器件2011年第3期

论文作者：陈栖洲汪学锋张怀武钟智勇

文章页码：4 - 41

关键词：平面霍尔效应;传感器;原理;结构;性能;

摘要：首先简要介绍了铁磁材料平面霍尔效应(PHE)的原理,然后介绍了基于平面霍尔效应的传感器的研究进展。其中包括传感器尺寸及形状的变化和材料的改进、制作工艺及流程。接着介绍了PHE传感器的几种典型结构,总结了温度、铁磁层薄膜厚度等对传感器灵敏度的影响。最后,讨论了目前存在的问题及发展前景。

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陈栖洲，汪学锋，张怀武，钟智勇

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

关键词：平面霍尔效应;传感器;原理;结构;性能;