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生产二硅化钼的反应气相渗透新技术

来源期刊:中国钼业1994年第6期

论文作者:金和玉

关键词:MoSi2;反应气相渗透;显微组织;复合材料;

摘    要:仔细研究了通过低温反应气相渗透途径生产二硅化铝(MOSi2)的新工艺。在这种工艺中,把松散压制的粉末暴露到气态硅里,首先形成MoSi2表面层,继而反应逐渐地向内部扩展。在1200℃温度下,MOSi2层以大约201μm/h的速率增厚,它是高温四方晶相。与化学气相沉积MoSi2不同的是.它不存在剩余的硅或者钼。

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生产二硅化钼的反应气相渗透新技术

金和玉

摘 要:仔细研究了通过低温反应气相渗透途径生产二硅化铝(MOSi2)的新工艺。在这种工艺中,把松散压制的粉末暴露到气态硅里,首先形成MoSi2表面层,继而反应逐渐地向内部扩展。在1200℃温度下,MOSi2层以大约201μm/h的速率增厚,它是高温四方晶相。与化学气相沉积MoSi2不同的是.它不存在剩余的硅或者钼。

关键词:MoSi2;反应气相渗透;显微组织;复合材料;

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