交流量热法测量SiO2薄膜的热扩散率
来源期刊：功能材料2002年第5期
论文作者：陈海军 唐祯安 马灵芝
关键词：交流量热法; 薄膜; 热扩散率;
摘 要：介绍了交流量热法测量薄膜热扩散率的原理和系统组建.用脉宽为纳秒级的超短激光脉冲作为热源,测量了Si衬底上厚度为100nm和500nm的SiO2薄膜水平方向上的热扩散率.实验结果表明该结构的热扩散率比SiO2体材料的要小,并且随着SiO2层厚度的减小,热扩散率也减小.
陈海军1，唐祯安1，马灵芝1
(1.大连理工大学,电子系,辽宁,大连,116023)
摘要:介绍了交流量热法测量薄膜热扩散率的原理和系统组建.用脉宽为纳秒级的超短激光脉冲作为热源,测量了Si衬底上厚度为100nm和500nm的SiO2薄膜水平方向上的热扩散率.实验结果表明该结构的热扩散率比SiO2体材料的要小,并且随着SiO2层厚度的减小,热扩散率也减小.
关键词:交流量热法; 薄膜; 热扩散率;
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