MPCVD法合成大单晶金刚石的研究进展

林晓棋^1,2，满卫东¹，张玮^1,2，吕继磊²，江南²

1. 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

摘 要：单晶金刚石具有诸多多晶金刚石所无法替代的优良性能,是新世纪高端技术领域发展所需的重要材料。随着技术的不断改进,MPCVD法合成单晶金刚石的生长速率、质量和尺寸都有了很大的提高。目前,应用最新的MPCVD技术合成的单晶金刚石,其最高生长速率达到200μm/h,合成尺寸达到英寸级,为单晶金刚石在超精密加工、光学元器件、半导体、探测器等高技术领域的应用提供了有力的支撑。本文主要综述了进入二十一世纪以来,MPCVD单晶金刚石的研究进展,并对其应用作简单的介绍。

关键词：MPCVD;金刚石;单晶;lift-off;马赛克;