非理想软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率

何忠杰¹，白海力¹，田仁玉²，姜恩永¹

(1.天津大学理学院应用物理学系,天津,300072;
2.华南理工大学应用物理系,广州,510041)

摘要:对实际软X射线光学多层膜中普遍存在的主要非理想因素(层厚漂移、界面粗糙度和界面扩散)进行了定量描述基于动力学光学理论,计算了上述非理想因素对软X射线光学多层膜的掠入射镜向反射率的影响结果表明:层厚的随机漂移使反射率、尤其是高级反射率降低;累积层厚漂移破坏了多层膜的长程有序性,使反射峰展宽;界面扩散和界面粗糙度使反射率降低,对高级反射率的影响更甚,但二者并不破坏多层膜的长程有序性,所以反射峰的宽度不变;界面扩散和界面粗糙度对反射率影响的机制不同;在界面扩散宽度和界面粗糙度相等的情况下,界面粗糙度使反射率下降显著用模拟退火Monte-Carlo方法对Co/C软X射线光学多层膜进行了结构评价.该方法能避免复杂的求导运算,在软X射线光学多层膜的结构评价中具有较强的实用性

关键词:软X射线光学多层膜; 层厚漂移; 界面粗糙度; 界面扩散; 掠入射镜向反射率; 模拟退火Monte-Carlo方法;

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