不同气氛下钽离子注入对硬质合金表面性质的影响

王世兴^1,2，李聪³，熊碧军³，田修波^1,2，杨士勤^1,2

1. 哈尔滨工业大学2. 深圳航天科技创新研究院3. 哈尔滨工业大学(深圳研究生院)

摘 要：为了增强硬质合金的性能,分别在通氮气和不通氮气两种真空气氛下,利用MEVVA源对硬质合金表面注入贵金属Ta,注入剂量为1.5×1017,3.0×1017,6.0×1017ion/cm2。通过X射线光电子能谱、X射线衍射以及金相显微镜等方法对注入试样进行结构表征和分析,在此基础上对其表面硬度、摩擦系数、防腐蚀等性能的测试结果进行讨论分析,结果表明这些表面性能得到了明显的提升。研究发现,氮气氛对注入试样的整体表现起了非常重要的促进作用,表面结构和性能的改变很大程度上受到了表面新相生成的的影响,同时也与注入本身的机制有关。

关键词：Ta离子注入;硬质合金;氮气氛;