非水溶液SILAR法制备氧化钛薄膜
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第2期
论文作者：刘志锋 邱继军 步绍静 靳正国 程志捷 刘晓新
关键词：SILAR; TiO2薄膜; 非水溶液;
摘 要：通过改变连续离子层吸附反应法(successive ionic layer adsorption and reaction,SILAR),在室温下,以TiCl4的乙醇溶液为前驱体,于玻璃衬底上制备了TiO2薄膜.使用扫描电镜对薄膜的表面形貌进行了观察,采用XRD分析了薄膜的晶体结构.该方法制备的薄膜致密、表面平整,沉积的薄膜为无定形态,550℃热处理为锐钛矿相TiO2.
刘志锋1，邱继军1，步绍静1，靳正国1，程志捷1，刘晓新1
(1.天津大学,先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津,300072)
摘要:通过改变连续离子层吸附反应法(successive ionic layer adsorption and reaction,SILAR),在室温下,以TiCl4的乙醇溶液为前驱体,于玻璃衬底上制备了TiO2薄膜.使用扫描电镜对薄膜的表面形貌进行了观察,采用XRD分析了薄膜的晶体结构.该方法制备的薄膜致密、表面平整,沉积的薄膜为无定形态,550℃热处理为锐钛矿相TiO2.
关键词:SILAR; TiO2薄膜; 非水溶液;
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