硅切割用电镀金刚石线锯的研究现状
来源期刊:超硬材料工程2012年第3期
论文作者:蒋燕麟 冯吉福 王进保
文章页码:43 - 48
关键词:电镀金刚石线锯;制备工艺;应用现状;展望;
摘 要:文章综述了硅切割用电镀金刚石线锯的构造和特点,以及制备工艺过程,并对其应用情况进行了简要介绍,对目前存在的问题进行初步的探讨,并就未来的发展趋势进行了展望。
蒋燕麟,冯吉福,王进保
国家特种矿物材料工程技术研究中心
摘 要:文章综述了硅切割用电镀金刚石线锯的构造和特点,以及制备工艺过程,并对其应用情况进行了简要介绍,对目前存在的问题进行初步的探讨,并就未来的发展趋势进行了展望。
关键词:电镀金刚石线锯;制备工艺;应用现状;展望;