热化学气相沉积法制备Sb掺杂ZnO纳米线的特性分析

来源期刊：粉末冶金工业2019年第4期

论文作者：段春艳 韩会丽

文章页码：78 - 81

关键词：ZnO纳米线;Sb掺杂;热化学气相沉积;结构组成;光电特性;

摘    要：本文以热化学气相沉积法在Si（100）基板上生长出Sb掺杂ZnO纳米线,分析了样品的结构及光电特性。SEM检测发现成长出宽约40～100 nm及长约数微米的纳米线结构;XRD分析表明纳米线为六方纤锌矿结构,其结晶度随Sb掺杂量增加而变差;TEM观测发现纳米线的生长方向为[0001]晶面,XPS分析表明Sb3+成功掺入ZnO晶体结构中;PL光谱得出掺Sb后纳米线的紫外光发光位置由382 nm红移至389 nm,536 nm处绿光发光强度减弱;电性测量表明微量Sb掺杂可提高ZnO纳米线的导电性能。