光子热丝法沉积金刚石膜
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期
论文作者：杨广亮 邵春雷 杨贵龙 申家镜 魏雪峰 金曾孙 彭鸿雁
关键词：光子热丝; 金刚石膜; 生长速率;
摘 要：采用一种改进的热丝CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝CVD腔中设置一套红外线发生器，中心波长3.5μm,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气体分解加强,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质得到了提高。
杨广亮1，邵春雷2，杨贵龙2，申家镜2，魏雪峰2，金曾孙1，彭鸿雁2
(1.吉林大学;
2.黑龙江省光电技术研究所,)
摘要:采用一种改进的热丝CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝CVD腔中设置一套红外线发生器，中心波长3.5μm,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气体分解加强,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质得到了提高。
关键词:光子热丝; 金刚石膜; 生长速率;
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