在金属薄膜衬底上定向生长碳纳米管

来源期刊：功能材料2010年第6期

论文作者：戴玮 朱宁

文章页码：1030 - 1033

关键词：碳纳米管;预处理;温度;等离子体增强化学气相沉积;定向生长;

摘    要：研究和探讨了预处理和温度影响对碳纳米管定向生长机制的作用。利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以金属Fe薄膜为催化剂,在单晶硅衬底上定向生长碳纳米管(CNT)。通过给予不同的预处理时间和温度条件,在Fe/Si衬底上沉积出碳纳米管,通过扫描电子显微镜(SEM)进行表征,将不同的条件下生长的碳纳米管进行对比。结果表明,在适当的工艺条件下,可以生长出方向性好,纯度高的碳纳米管。