TiAl镀膜靶材制备工艺对硬质涂层的性能影响研究

来源期刊：粉末冶金工业2018年第4期

论文作者：戴护民

文章页码：17 - 20

关键词：TiAl;合金靶材;硬质涂层;烧结;溅射镀膜;

摘    要：采用常压烧结和热压烧结分别制备了TiAl合金靶材,并采用溅射镀膜法制备了TiAl硬质涂层。对两种工艺所制备靶材的硬质涂层进行显微组织和相成分分析,并进行耐高温氧化性和力学性能测试。结果表明:采用常压烧结制备的靶材硬质涂层分散不均匀,且致密性较差,氧化速率较快,显微硬度仅为1 798 HV;而采用热压烧结制备的靶材硬质涂层具有高致密度、低孔隙率,晶粒尺寸细小且分布较为均匀,抗氧化性能显著提高,显微硬度高达3 165 HV,较前者提高了76%。