溶胶-凝胶法制备低折射率SiO2薄膜的过程控制研究
来源期刊：材料导报2010年第S1期
论文作者：王珊
文章页码：47 - 108
关键词：溶胶-凝胶;镀膜;过程控制;
摘 要：纳米多孔二氧化硅薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景。以溶胶-凝胶法制备低折射率SiO2薄膜为例,对化学法镀膜中的溶胶制备、溶胶保存、薄膜制备等3个阶段进行了研究,利用透射电镜、红外光谱仪、原子力显微镜、椭偏仪等对溶胶和薄膜的特性进行了检测,并对其制备过程进行了控制,这对制备性能良好的薄膜材料及其产业化应用具有一定的指导意义。
王珊
上海工程技术大学基础教学学院
摘 要：纳米多孔二氧化硅薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景。以溶胶-凝胶法制备低折射率SiO2薄膜为例,对化学法镀膜中的溶胶制备、溶胶保存、薄膜制备等3个阶段进行了研究,利用透射电镜、红外光谱仪、原子力显微镜、椭偏仪等对溶胶和薄膜的特性进行了检测,并对其制备过程进行了控制,这对制备性能良好的薄膜材料及其产业化应用具有一定的指导意义。
关键词：溶胶-凝胶;镀膜;过程控制;
