PZT铁电薄、厚膜及其制备技术研究进展
来源期刊：材料导报2004年第10期
论文作者：夏冬林 赵修建 徐慢 刘梅冬
关键词：PZT; 铁电薄膜; 铁电厚膜; 制备技术;
摘 要：铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用.近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的热点.介绍了PZT铁电薄、厚膜材料与器件的研究进展以及PZT铁电薄、厚膜制备技术及几种典型的PZT铁电薄、厚膜材料制备技术的特点,并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向.
夏冬林1，赵修建1，徐慢1，刘梅冬2
(1.武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070;
2.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074)
摘要:铁电薄、厚膜材料具有良好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学特性,在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等领域有许多重要的应用.近年来,随着铁电薄、厚膜制备技术的发展,PZT厚膜材料及厚膜器件成为科学工作者研究的热点.介绍了PZT铁电薄、厚膜材料与器件的研究进展以及PZT铁电薄、厚膜制备技术及几种典型的PZT铁电薄、厚膜材料制备技术的特点,并指出了目前存在的一些问题和未来的发展方向.
关键词:PZT; 铁电薄膜; 铁电厚膜; 制备技术;
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