液相沉积法制备类金刚石膜的研究
来源期刊：材料开发与应用2005年第5期
论文作者：孙敏 沈风雷 王红卫 闻荻江
关键词：液相沉积; 钛合金; 类金刚石;
摘 要：探讨了用液相法在钛合金表面沉积制备类金刚石膜的可能性,研究了沉积膜工艺条件对膜的影响,得出了适宜的沉积条件.结果表明,通过液相法可以沉积制备得到DLC膜,但与沉积条件有着密切的关系.当电压为1600～1850V、温度为60～62℃、电极间距为8～10mm、沉积时间大于36h时,才能在钛合金表面得到完整的DLC绝缘膜.
孙敏1，沈风雷2，王红卫2，闻荻江2
(1.苏州科技学院,江苏,苏州,215011;
2.苏州大学,材料工程学院,江苏,苏州,215021)
摘要:探讨了用液相法在钛合金表面沉积制备类金刚石膜的可能性,研究了沉积膜工艺条件对膜的影响,得出了适宜的沉积条件.结果表明,通过液相法可以沉积制备得到DLC膜,但与沉积条件有着密切的关系.当电压为1600～1850V、温度为60～62℃、电极间距为8～10mm、沉积时间大于36h时,才能在钛合金表面得到完整的DLC绝缘膜.
关键词:液相沉积; 钛合金; 类金刚石;
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