纳米氧化铝薄膜湿度传感器的研制
来源期刊：功能材料2011年第1期
论文作者：卢云 刘俊 侯应应 于大蔚 陈大恺
文章页码：80 - 169
关键词：湿度传感器;氧化铝;多孔膜;金电极;
摘 要：研究了阳极氧化三氧化二铝多孔膜的制备工艺,采用两步阳极氧化法和独特的后处理工艺获得了孔洞分布均匀、孔径大小一致且耐水合的多孔氧化膜,分析了传感器的湿敏特性:传感器的湿滞<2%,响应时间<10s,恢复时间<40s,性能非常优良。
卢云，刘俊，侯应应，于大蔚，陈大恺
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
摘 要：研究了阳极氧化三氧化二铝多孔膜的制备工艺,采用两步阳极氧化法和独特的后处理工艺获得了孔洞分布均匀、孔径大小一致且耐水合的多孔氧化膜,分析了传感器的湿敏特性:传感器的湿滞<2%,响应时间<10s,恢复时间<40s,性能非常优良。
关键词：湿度传感器;氧化铝;多孔膜;金电极;
