微型等离子体光谱仪激发源的研究与进展
来源期刊：冶金分析2010年第1期
论文作者：李小佳 王占友 王永清 王海舟 周颖昌
关键词：光谱仪; 微型; 等离子体; 激发源; optical emission spectrometer (OES); miniaturization; plasma; excitation source;
摘 要：微型化、集成化是光谱仪器发展的重要趋势之一.激发源的微型化对研发微型光谱仪器至关重要.本文以微等离子体的产生方式为主线,详细阐述了微型直流等离子体激发源(M-DCPS)、微型电感耦合等离子体激发源(M-ICPS)和微波开口环谐振器式等离子体激发源(M-SRRPS),给出了这些激发源的相关数据参数,并对其装置和原理做了简要的叙述.同时对这些激发源的优缺点及其参数指标作了简要的评述.简要介绍了其他微等离子激发源,探讨了微等离子体激发源潜在的应用领域,并展望了微等离子体激发源的发展趋势.
李小佳1，王占友2，王永清2，王海舟1，周颖昌2
(1.钢铁研究总院,国家钢铁材料测试中心,北京,100081;
2.河北大学电子信息工程学院,河北保定,071002)
摘要:微型化、集成化是光谱仪器发展的重要趋势之一.激发源的微型化对研发微型光谱仪器至关重要.本文以微等离子体的产生方式为主线,详细阐述了微型直流等离子体激发源(M-DCPS)、微型电感耦合等离子体激发源(M-ICPS)和微波开口环谐振器式等离子体激发源(M-SRRPS),给出了这些激发源的相关数据参数,并对其装置和原理做了简要的叙述.同时对这些激发源的优缺点及其参数指标作了简要的评述.简要介绍了其他微等离子激发源,探讨了微等离子体激发源潜在的应用领域,并展望了微等离子体激发源的发展趋势.
关键词:光谱仪; 微型; 等离子体; 激发源; optical emission spectrometer (OES); miniaturization; plasma; excitation source;
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