CVD金刚石的形核和生长
来源期刊：理化检验物理分册2006年第8期
论文作者：罗承萍 邱万奇 黄元盛 陈灵
关键词：化学气相沉积; 金刚石; 形核;
摘 要：应用自制的热解丝CVD装置,研究了在金刚石沉积过程中改变甲烷浓度对其形核和生长的影响.结果表明,金刚石形核后,增加甲烷浓度,仍然可以在硅基底表面继续形成新的晶核.但是甲烷浓度由0.6%逐渐增加到1.2%时,所得最终形核密度比一开始就将甲烷浓度设为1.2%的形核密度低.新晶核比先形成的晶核具有较大的长大速度,随后所有晶核尺寸逐渐趋向相同.
罗承萍1，邱万奇1，黄元盛2，陈灵1
(1.华南理工大学机械工程学院,广州,510640;
2.韶关学院机电系,韶关,512005)
摘要:应用自制的热解丝CVD装置,研究了在金刚石沉积过程中改变甲烷浓度对其形核和生长的影响.结果表明,金刚石形核后,增加甲烷浓度,仍然可以在硅基底表面继续形成新的晶核.但是甲烷浓度由0.6%逐渐增加到1.2%时,所得最终形核密度比一开始就将甲烷浓度设为1.2%的形核密度低.新晶核比先形成的晶核具有较大的长大速度,随后所有晶核尺寸逐渐趋向相同.
关键词:化学气相沉积; 金刚石; 形核;
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