溶胶-凝胶法在3D-SiC陶瓷表面浸涂Al_2O_3薄膜的研究
来源期刊：材料导报2009年第22期
论文作者：魏文韬 喻亮 茹红强 闫海乐 岳新艳 里景阳
关键词：溶胶-凝胶法; 真空浸渍法; Al_2O_3; 薄膜; 三维网络碳化硅; 抗热震性; Sol-gel method; vacuum impregnation method; Al_2O_3 thin film; three-dimensional silicon carbide; thermal shock resistance;
摘 要：以无机盐Al(NO_3)_3·9H_2O为先驱体、水为溶剂,加入不同浓度的胶溶剂HNO_3,采用溶胶-凝胶(Solgel)法制备了勃姆石(γ-AlOOH)溶胶.分别以溶液下降法和真空浸渍法在三维网络碳化硅陶瓷骨架(3D-SiC)表面浸涂γ-AlOOH溶胶,采用不同烧结制度在3D-SiC表面生成了Al_2O_3薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、红外光谱仪(IR)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的物相和显微结构,并检测了薄膜的抗热震性.结果表明,采用真空浸渍法在3D-SiC表面浸涂加入浓度0.22mol/L HNO_3制备的γ-AlOOH溶胶能烧结形成致密平整的Al_2O_3薄膜.升高烧结温度,Al_2O_3晶粒长大,900℃时薄膜最致密且能观测到玻璃态显微结构.薄膜的抗热震性随烧结温度升高而提高.
魏文韬1，喻亮1，茹红强1，闫海乐1，岳新艳1，里景阳1
(1.东北大学材料与冶金学院材料各向异性与织构教育部重点实验室,沈阳,110004)
摘要:以无机盐Al(NO_3)_3·9H_2O为先驱体、水为溶剂,加入不同浓度的胶溶剂HNO_3,采用溶胶-凝胶(Solgel)法制备了勃姆石(γ-AlOOH)溶胶.分别以溶液下降法和真空浸渍法在三维网络碳化硅陶瓷骨架(3D-SiC)表面浸涂γ-AlOOH溶胶,采用不同烧结制度在3D-SiC表面生成了Al_2O_3薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、红外光谱仪(IR)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的物相和显微结构,并检测了薄膜的抗热震性.结果表明,采用真空浸渍法在3D-SiC表面浸涂加入浓度0.22mol/L HNO_3制备的γ-AlOOH溶胶能烧结形成致密平整的Al_2O_3薄膜.升高烧结温度,Al_2O_3晶粒长大,900℃时薄膜最致密且能观测到玻璃态显微结构.薄膜的抗热震性随烧结温度升高而提高.
关键词:溶胶-凝胶法; 真空浸渍法; Al_2O_3; 薄膜; 三维网络碳化硅; 抗热震性; Sol-gel method; vacuum impregnation method; Al_2O_3 thin film; three-dimensional silicon carbide; thermal shock resistance;
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