五自由度纳米级定位精度机构的研制
来源期刊:机械设计与制造2005年第2期
论文作者:王勇 刘志刚 薄锋 朱健强
文章页码:90 - 91
关键词:精密定位;柔性机构;压电/电致伸缩驱动;
摘 要:提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用压电陶瓷作为驱动元件,柔性导向机构实现平移及转动功能。整个工作台可由整块金属材料通过线切割加工制成,实现一体化加工,而且结构紧凑。并给出导向机构刚度计算公式及设计实例。
王勇,刘志刚,薄锋,朱健强
摘 要:提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用压电陶瓷作为驱动元件,柔性导向机构实现平移及转动功能。整个工作台可由整块金属材料通过线切割加工制成,实现一体化加工,而且结构紧凑。并给出导向机构刚度计算公式及设计实例。
关键词:精密定位;柔性机构;压电/电致伸缩驱动;