高熵合金氮化物薄膜的研究进展

任波^1,2，赵瑞锋^1,3，刘忠侠³

1. 河南工程学院机械工程学院2. 郑州大学材料科学与工程学院3. 郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室

摘 要：基于多元高熵合金思想制备的高熵合金氮化物薄膜由于多种元素相互混合,易于产生高熵效应、晶格畸变效应和缓慢扩散效应,使得该新型薄膜体系形成简单的非晶结构和纳米晶结构。依赖于成分和制备工艺,多元高熵合金氮化物薄膜表现出简单的固溶体结构和优异的性能,因而在许多领域极具应用潜力。综述了高熵合金氮化物薄膜的发展概况、组织特点、性能特征、制备方法和应用前景,并对高熵合金氮化物薄膜的发展方向进行了展望。

关键词：多元高熵合金;氮化物薄膜;微观组织;