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Bi2Ti2O7薄膜制备及 Bi2Ti2O7绝缘栅场效应管研制

来源期刊：功能材料与器件学报2001年第2期

论文作者：吴显明肖卓炳尚淑霞王卓王弘王少伟王民

关键词：化学溶液沉积法; Bi2Ti2O7薄膜; 介电常数; 绝缘栅场效应管;

摘要：采用化学溶液沉积法，以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi2Ti2O7介质膜。制膜过程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数，用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的 SiO2绝缘栅场效应管相比，具有较高的跨导和较低的开启电压。

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吴显明¹，肖卓炳¹，尚淑霞²，王卓²，王弘²，王少伟²，王民²

(1.吉首大学生化学院 ,;
2.山东大学)

摘要:采用化学溶液沉积法，以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi2Ti2O7介质膜。制膜过程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数，用其制备的绝缘栅场效应管与相同尺寸的 SiO2绝缘栅场效应管相比，具有较高的跨导和较低的开启电压。

关键词:化学溶液沉积法; Bi2Ti2O7薄膜; 介电常数; 绝缘栅场效应管;

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