电极与介电层褶皱接触对压电式柔性电子皮肤性能的影响

来源期刊：复合材料学报2020年第12期

论文作者：张锦桐 周刚 陈桂婷 徐从康 王江涌

关键词：磁控溅射;纳米SiO₂;柔性电子皮肤;压电响应;柔性传感器;

摘    要：提出了一种基于压电效应制备柔性电子皮肤的简单方法。为了研究纳米改性对柔性电子皮肤各层性能的影响,首先以纳米SiO₂粒子作为改性体,以聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为基体,制备出SiO₂/PDMS复合柔性衬底,解决了在PDMS上磁控溅射沉积电极材料产生裂纹的现象,成功获得能够稳定工作的柔性电极。然后用钛酸钡/碳纳米管/聚二甲基硅氧烷（BaTiO₃/CNTs/PDMS）复合材料作为功能层,制备出一种五层结构的高灵敏性柔性电子皮肤,并找到一种通过改变基板粗糙度的简单方法构建电极与介电层的褶皱接触,进而提升柔性电极的电导率与柔性电子皮肤的压电响应信号。