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TiNi基形状记忆合金薄膜研究进展

来源期刊：材料导报2006年第2期

论文作者：王治国傅永庆祖小涛宁智华

关键词：TiNi基形状记忆合金; 薄膜; 制备; 微驱动器;

摘要：TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外,还因表面积大、散热能力好,改善了体材料响应速度较慢的缺点,在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料.综述了近年来TiNi基形状记忆合金薄膜研究现状,并对其应用进行了评述.

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王治国¹，傅永庆²，祖小涛¹，宁智华¹

(1.电子科技大学应用物理系,成都,610054;
2.Department of Engineering,University of Cambridge,Cambridge UK)

摘要:TiNi基形状记忆合金薄膜除具有和体材料相同的形状记忆特性外,还因表面积大、散热能力好,改善了体材料响应速度较慢的缺点,在微电子机械系统领域是一种具有广阔应用前景的材料.综述了近年来TiNi基形状记忆合金薄膜研究现状,并对其应用进行了评述.

关键词:TiNi基形状记忆合金; 薄膜; 制备; 微驱动器;

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