MgZnO薄膜的准分子激光晶化（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第S3期

论文作者：胡居广 李启文 林晓东 罗仲宽 曹慧群 刁雄辉 张一倩 陈展耀 汤华斌

文章页码：313 - 315

关键词：MgZnO薄膜;晶化;激光退火;

摘    要：利用KrF准分子激光,在室温下对PLD法制备的MgZnO薄膜进行激光退火处理,研究了激光能量密度为50~167 mJ/cm~2时对薄膜结晶性能的影响,并用XRD、AFM、透射光谱等测试手段对薄膜进行表征。结果表明,在能量密度为125 mJ/cm~2时,薄膜具有最佳结晶效果。由于激光具有良好的可控性,可以实现区域选择性退火。本实验为维持较低的基底温度下实现MgZnO薄膜的退火处理提供了参考。