改善AMR薄膜磁电阻传感器线性度的几种方法
来源期刊：工程科学学报2006年第8期
论文作者：王立锦
文章页码：744 - 749
关键词：金属薄膜;各向异性磁电阻效应;传感器;线性度;微加工;
摘 要：在分析金属薄膜磁电阻传感器非线性产生原因的基础上,提出了几种设计AMR(各向异性磁电阻)薄膜磁电阻传感器时改善其线性度的方法.用直流磁控溅射方法制备了Ni80Fe20和Ni65Co35AMR薄膜材料;用微加工工艺制做出了几种AMR传感器元件,并给出了测试结果.
王立锦
北京科技大学材料科学与工程学院 北京100083
摘 要：在分析金属薄膜磁电阻传感器非线性产生原因的基础上,提出了几种设计AMR(各向异性磁电阻)薄膜磁电阻传感器时改善其线性度的方法.用直流磁控溅射方法制备了Ni80Fe20和Ni65Co35AMR薄膜材料;用微加工工艺制做出了几种AMR传感器元件,并给出了测试结果.
关键词：金属薄膜;各向异性磁电阻效应;传感器;线性度;微加工;
