喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备ITO靶材的工艺研究
来源期刊：稀有金属与硬质合金2011年第2期
论文作者：李晶 赵晓东 李芝华 任冬燕
文章页码：38 - 87
关键词：ITO靶材;喷雾干燥;冷等静压;烧结;
摘 要：以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜（SEM）观察粉末、素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析。实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高。
李晶1,2，赵晓东2，李芝华2，任冬燕2
1. 西南科技大学材料科学与工程学院2. 中南大学材料科学与工程学院
摘 要：以化学共沉淀法制备的ITO粉末为原料,采用喷雾干燥-冷等静压-烧结法制备了ITO靶材,通过扫描电子显微镜（SEM）观察粉末、素坯及烧结后ITO靶材的表面形貌和气孔分布,并就粉末不同粒度组成对靶材压制与烧结效果的影响进行了分析。实验结果表明:通过喷雾干燥-冷等静压-烧结工艺可制备出相对密度大于97%的ITO靶材,喷雾干燥工序能有效改善粉末的流动性与压形性,以细粉为主的素坯其烧结致密化程度更高。
关键词：ITO靶材;喷雾干燥;冷等静压;烧结;
