辉光放电光谱法定量分析金属材料表面纳米级薄膜的研究
来源期刊：理化检验-化学分册2006年第9期
论文作者：邬君飞 张毅 王艳萍 陈英颖 蓝闽波 何晓蕾
关键词：辉光放电光谱法; 纳米级薄膜; 表面分析;
摘 要：介绍了利用辉光放电光谱法分析金属材料表面的纳米级薄膜.通过优化辉光光源的放电参数,计算标准样品的溅射率.溅射率经校正后,建立各元素的标准工作曲线,从而形成了纳米级薄膜的定量表面分析方法.试验证明,此方法对膜厚的测定具有很好的准确度和精密度,可应用于多种金属材料表面纳米级薄膜的研究.
邬君飞1，张毅1，王艳萍2，陈英颖1，蓝闽波2，何晓蕾2
(1.宝钢研究院,上海,201900;
2.华东理工大学,分析测试中心,上海,200237)
摘要:介绍了利用辉光放电光谱法分析金属材料表面的纳米级薄膜.通过优化辉光光源的放电参数,计算标准样品的溅射率.溅射率经校正后,建立各元素的标准工作曲线,从而形成了纳米级薄膜的定量表面分析方法.试验证明,此方法对膜厚的测定具有很好的准确度和精密度,可应用于多种金属材料表面纳米级薄膜的研究.
关键词:辉光放电光谱法; 纳米级薄膜; 表面分析;
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