超声喷雾法制备SnO₂∶Sb电热薄膜结构和电学性能

童卫红¹，吴其胜²，顾斌³，陈秋静¹

1. 江苏大学材料科学与工程学院2. 盐城工学院材料工程学院3. 安徽理工大学材料科学与工程学院

摘 要：以SnCl₄·5H₂O和SbCl₃为原料,无水乙醇作溶剂,溶胶-凝胶法制备SnO₂∶Sb（ATO）薄膜的前驱体溶液,再用超声喷雾热解法制得薄膜,并用包括四探针测试仪及热功率测试设备等在内的方法对样品进行表征。结果表明:超声喷雾热解法可制备表面平整的ATO薄膜;Sb元素的掺杂并未改变SnO₂的晶体结构,且随着沉积温度的增加,薄膜的结晶度提高;当沉积温度为500℃,Sb掺量为1.5at.%,c（Sn）=0.8mol/L时方块电阻最小,为105Ω/?,施加220V电压最高加热温度达到213℃。

关键词：超声喷雾法;结构;方块电阻;电热性能;