激光扫描粗糙度测量仪的研制
来源期刊：工程科学学报1990年第4期
论文作者：龚育良
文章页码：375 - 381
关键词：激光;扫描;粗糙度;测量;
摘 要：介绍激光扫描粗糙度测量仪的测量原理、结构及结果。本测量仪根据激光在工件表面的反射散射原理,应用激光扫描技术、数据采集、A/D转换和定标曲线的计算机拟合,整个测量过程在单板机控制下自动完成。测量粗糙度Ra的分辨率为0.001μm,测量重复精度为0.006μm。
龚育良
北京科技大学物理系
摘 要：介绍激光扫描粗糙度测量仪的测量原理、结构及结果。本测量仪根据激光在工件表面的反射散射原理,应用激光扫描技术、数据采集、A/D转换和定标曲线的计算机拟合,整个测量过程在单板机控制下自动完成。测量粗糙度Ra的分辨率为0.001μm,测量重复精度为0.006μm。
关键词：激光;扫描;粗糙度;测量;
