电感耦合等离子体质谱法测定太阳能级多晶硅中杂质元素
来源期刊：理化检验-化学分册2013年第5期
论文作者：陈黎明
文章页码：556 - 1120
关键词：电感耦合等离子体质谱法;太阳能级多晶硅;杂质元素;
摘 要：多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原子离子对部分被测元素的干扰。方法的检出限（3s）在0.3～19.7ng.g-1之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中23种元素的测定,回收率在85.2%～111%之间,相对标准偏差（n=11）在0.9%～4.6%之间。
陈黎明
上海市计量测试技术研究院
摘 要：多晶硅样品经氢氟酸和硝酸混合酸消解,采用电感耦合等离子体质谱法测定所得样品溶液中23种杂质元素的含量。通过调整分辨率来调整多原子离子对部分被测元素的干扰。方法的检出限（3s）在0.3～19.7ng.g-1之间。方法用于太阳能级多晶硅样品中23种元素的测定,回收率在85.2%～111%之间,相对标准偏差（n=11）在0.9%～4.6%之间。
关键词：电感耦合等离子体质谱法;太阳能级多晶硅;杂质元素;
