正交相Y2Mo3O12薄膜的制备及光吸收性能研究
来源期刊：材料导报2010年第18期
论文作者：程慧 晁明举 梁二军 姜雅丽 刘志锋
文章页码：8 - 11
关键词：磁控溅射;Y2Mo3O12薄膜;拉曼光谱;光吸收性能;
摘 要：采用磁控溅射法在Si（100）和石英衬底上沉积Y2Mo3O12,并经退火处理获得正交相Y2Mo3O12薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射仪、变温拉曼光谱仪和紫外-可见光谱计研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、吸湿性和光吸收性能。结果表明,磁控溅射沉积Y2Mo3O12薄膜为非晶态,退火后结晶为正交相结构。正交相Y2Mo3O12薄膜表面平整、晶粒细小,具有可逆的脱水吸水性能,其光学带隙宽度为4.58eV,对近紫外光（波长286～270nm）具有很好的吸收性能,可应用于日盲探测器中。
程慧，晁明举，梁二军，姜雅丽，刘志锋
郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
摘 要：采用磁控溅射法在Si（100）和石英衬底上沉积Y2Mo3O12,并经退火处理获得正交相Y2Mo3O12薄膜。采用扫描电镜、X射线衍射仪、变温拉曼光谱仪和紫外-可见光谱计研究了薄膜的表面形貌、结晶特性、吸湿性和光吸收性能。结果表明,磁控溅射沉积Y2Mo3O12薄膜为非晶态,退火后结晶为正交相结构。正交相Y2Mo3O12薄膜表面平整、晶粒细小,具有可逆的脱水吸水性能,其光学带隙宽度为4.58eV,对近紫外光（波长286～270nm）具有很好的吸收性能,可应用于日盲探测器中。
关键词：磁控溅射;Y2Mo3O12薄膜;拉曼光谱;光吸收性能;
