浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用
来源期刊：超硬材料工程2017年第4期
论文作者：曹艳芬 宋庆军 闫凯
文章页码：48 - 50
关键词：电镀金刚石线;切割;硅材料;应用现状;
摘 要：电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景。
曹艳芬，宋庆军，闫凯
摘 要：电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景。
关键词：电镀金刚石线;切割;硅材料;应用现状;
