类金刚石碳膜在纳米划擦过程中的弹-塑性变形及断裂机制分析

徐可为¹，黄立业¹，吕坚²

(1.西安交通大学材料研究中心金属材料强度国家重点实验室,西安,710049;
2.特鲁瓦技术大学机械系统并行工程实验室,特鲁瓦,法国)

摘要:利用纳米划痕仪研究了Ti合金表面类金刚石薄膜在划擦过程中的弹塑性变形和裂纹形成微观机制.结果表明:试样在划擦过程经历了薄膜变形、薄膜与基体共同变形和薄膜剥离3个阶段,对应的P-D曲线分别在划擦前后无变化、出现分离和急剧变化.在第三阶段中塑性变形量超过弹性变形量,在薄膜内部产生裂纹,薄膜与基体变形恢复不同步,薄膜发生剥落因此,提高薄膜划擦抗力的有效途径是增强膜基的结合强度和提高薄膜的断裂韧性.

关键词:类金刚石碳膜; 纳米划痕; 断裂机制; 力学性能;

【全文内容正在添加中】