激光辐照引起Ge2Sb2Te5非晶态薄膜的电/光性质变化
来源期刊：无机材料学报2008年第6期
论文作者：吴谊群 侯立松 孙华军 魏劲松
关键词：Ge2Sb2Te5薄膜; 激光辐照; 电/光性质; 光学常数; 相转变;
摘 要：研究了激光辐照引起Ge2Sb2Tes非晶态薄膜的电/光性质变化,当激光功率为580mW时薄膜的方块电阻有四个数量级(107～103Ω/口)的突变;对电阻发生突变前、中、后的三个样品进行了XRD测试,结果表明,随着激光功率的增大,薄膜由非晶态向晶态转变,用椭偏仪测试了结构转变前、中、后三个样品的光学常数,在可见光范围内薄膜的光学常数在波长相同情况下有: n非晶态＞n中间态,k晶态＞k中间态＞k非晶态,α晶态＞α中间态＞α非晶态,结合电阻变化曲线和XRD图谱讨论了激光辐照Ge2Sb2Te5非晶态薄膜的电/光性质变化同激光功率和结构转变之间的关系.
吴谊群1，侯立松1，孙华军1，魏劲松1
(1.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800)
摘要:研究了激光辐照引起Ge2Sb2Tes非晶态薄膜的电/光性质变化,当激光功率为580mW时薄膜的方块电阻有四个数量级(107～103Ω/口)的突变;对电阻发生突变前、中、后的三个样品进行了XRD测试,结果表明,随着激光功率的增大,薄膜由非晶态向晶态转变,用椭偏仪测试了结构转变前、中、后三个样品的光学常数,在可见光范围内薄膜的光学常数在波长相同情况下有: n非晶态＞n中间态,k晶态＞k中间态＞k非晶态,α晶态＞α中间态＞α非晶态,结合电阻变化曲线和XRD图谱讨论了激光辐照Ge2Sb2Te5非晶态薄膜的电/光性质变化同激光功率和结构转变之间的关系.
关键词:Ge2Sb2Te5薄膜; 激光辐照; 电/光性质; 光学常数; 相转变;
【全文内容正在添加中】
