提高钢基表面Al2O3薄膜结合力的研究
来源期刊：功能材料2010年第5期
论文作者：邵红红 王季 王晓静 于春杭 顾冬青
文章页码：794 - 1595
关键词：射频磁控溅射;Al2O3薄膜;非晶态;结合力;Ni-P中间层;
摘 要：采用射频磁控溅射法在40Cr基体上制备了非晶态Al2O3薄膜,并研究了工艺参数(溅射功率,工作气压,溅射时间)、预处理工艺以及中间层对薄膜结合性能的影响。试验结果表明,采用射频溅射法,在功率为250W、工作气压为5.0Pa、时间为3h条件下制备的薄膜结合力最好。基体经过腐蚀预处理和加入镍磷中间层均能改善膜基结合力,后者效果更显著。
邵红红，王季，王晓静，于春杭，顾冬青
江苏大学材料科学与工程学院
摘 要：采用射频磁控溅射法在40Cr基体上制备了非晶态Al2O3薄膜,并研究了工艺参数(溅射功率,工作气压,溅射时间)、预处理工艺以及中间层对薄膜结合性能的影响。试验结果表明,采用射频溅射法,在功率为250W、工作气压为5.0Pa、时间为3h条件下制备的薄膜结合力最好。基体经过腐蚀预处理和加入镍磷中间层均能改善膜基结合力,后者效果更显著。
关键词：射频磁控溅射;Al2O3薄膜;非晶态;结合力;Ni-P中间层;
