高纯气体管路系统颗粒物产生原因分析及防治

刘见华^1,2,3，万烨^1,2,3，赵雄^1,2,3，赵宇^2,3，王磊^2,3，严大洲^1,2,3

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摘 要：精密加工制造中颗粒物含量影响产品质量和成品率,是评价高纯系统的重要指标之一。高纯管路系统的颗粒物来自于高纯材料的制造、管道材料表面的杂质、产品气体自身携带的污染物、控制阀门和过滤器、施工安装产生的污染。通过分析颗粒物来源,从材料的纯化、表面处理、阀门和过滤器选型、焊接质量控制、管道安装、预制加工作业环境的洁净度控制几方面提出颗粒物防治措施建议。

关键词：高纯气体;颗粒物;管路系统;洁净度;