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混合集成型光学拾音器的设计与制作

来源期刊：功能材料与器件学报2002年第2期

论文作者：杨立新陈学良刘畅

关键词：混合集成型光学拾音器; 微光学棱镜; 光电探测器; CMOS集成电路;

摘要：通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计,制作了包含微光学棱镜、光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器.经过测试,发现有较好的信号输出特性,表明混合集成型光学拾音器已基本研制成功.

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杨立新¹，陈学良¹，刘畅¹

(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学分部,上海200233)

摘要:通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计,制作了包含微光学棱镜、光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器.经过测试,发现有较好的信号输出特性,表明混合集成型光学拾音器已基本研制成功.

关键词:混合集成型光学拾音器; 微光学棱镜; 光电探测器; CMOS集成电路;

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