磁控溅射Co/AZO纳米复合薄膜的结构及光学性能

来源期刊：稀有金属材料与工程2014年第1期

论文作者：赵志明 张晓静 马二云 白力静 张国君 游才印 蒋百灵

文章页码：145 - 149

关键词：Co/AZO纳米复合薄膜;微观结构;光学性能;交替沉积;磁控溅射;

摘    要：利用对靶磁控溅射交替沉积技术在不同Co靶电流下沉积Co/AZO纳米复合薄膜,并对其进行真空退火。研究了Co靶电流对薄膜的结构及光学性能的影响。结果表明,沉积态薄膜晶化程度随Co靶电流增加而降低,未发现Co的相关衍射峰;真空退火后,薄膜结晶性明显改善,0.3 A薄膜中出现了Co纳米颗粒,当Co靶电流增大到0.5 A时还发现了CoO纳米颗粒。UV-Vis光谱显示薄膜透过率随Co靶电流增加而降低,退火后透过率明显提高;光谱中还出现了高自旋态Co2+（d7）电子跃迁的3个特征吸收峰,0.2 A薄膜中尤其显著。