键合金丝的合金化研究动向
来源期刊:贵金属2002年第3期
论文作者:朱建国
关键词:键合金丝; 半导体器件; 性能; 组成;
摘 要:根据最新的专利文献综述了高弧度、低弧度、高强度键合金丝的发展现状,介绍了微量添加元素的作用和Au-Cu-Ca、Au-Ag、Au-Ni、Au-Sn(In)、Au-Pt(Pd)等合金化键合金丝的研究动向,以及键合金丝的微量添加元素复合化、组成合金化、加工细线化、低成本化的发展趋势.
朱建国1
(1.北京有色金属与稀土应用研究所,中国北京,100012)
摘要:根据最新的专利文献综述了高弧度、低弧度、高强度键合金丝的发展现状,介绍了微量添加元素的作用和Au-Cu-Ca、Au-Ag、Au-Ni、Au-Sn(In)、Au-Pt(Pd)等合金化键合金丝的研究动向,以及键合金丝的微量添加元素复合化、组成合金化、加工细线化、低成本化的发展趋势.
关键词:键合金丝; 半导体器件; 性能; 组成;
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