基于PDMS纳米粒子改性的热模压技术
来源期刊：功能材料与器件学报2009年第5期
论文作者：肖丽君 陈迪 朱军 汪鹏 陈翔
关键词：PDMS改性; 纳米粒子; 热模压; 微流控; modifying of PDMS; nano particles; hot embossing; mircofludics;
摘 要：介绍了一种采用纳米SiO_2、TiO_2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO_2、TiO_2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用改性的PDMS材料,快速成型来制造热压模具,热压制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片.与常用的金属模具(如镍模具)相比,此方法具有脱模容易,工艺周期短,难度低,重复性好,价格低等优点.
肖丽君1，陈迪1，朱军1，汪鹏1，陈翔1
(1.上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030)
摘要:介绍了一种采用纳米SiO_2、TiO_2改性聚二甲基硅氧烷(PDMS)的方法,研究了两种纳米材料SiO_2、TiO_2添加的比例对热压效果的影响及优化条件,并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化,以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析,最后用改性的PDMS材料,快速成型来制造热压模具,热压制作聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片.与常用的金属模具(如镍模具)相比,此方法具有脱模容易,工艺周期短,难度低,重复性好,价格低等优点.
关键词:PDMS改性; 纳米粒子; 热模压; 微流控; modifying of PDMS; nano particles; hot embossing; mircofludics;
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