水相体系纳米γ-Al2O3浆料的分散稳定性能研究
来源期刊：材料科学与工艺2005年第5期
论文作者：王海波 曲鹏 邱冠周 吴雪兰 宋晓岚
关键词：纳米γ-Al2O3; CMP浆料; 分散剂; 分散稳定;
摘 要：为确定配制稳定的纳米γ-Al2O3化学机械抛光(CMP)浆料的工艺条件,通过润湿性、Zeta电位及黏度的测定,研究了溶液pH值及添加分散剂等因素对水相体系纳米γ-Al2O3悬浮液分散稳定性能的影响.结果表明,在纳米γ-Al2O3固含量为6%的浆料中,加入异丙醇胺作为分散剂,其用量为γ-Al2O3粉体质量的1%,同时控制浆料的pH值约为4时,纳米γ-Al2O3粉末的润湿性能最佳,此时浆料Zeta电位值较高,黏度较小;在该条件下成功获得长时间不沉降的稳定浆料.
王海波1，曲鹏1，邱冠周1，吴雪兰1，宋晓岚1
(1.中南大学,资源加工与生物工程学院,湖南,长沙,410083)
摘要:为确定配制稳定的纳米γ-Al2O3化学机械抛光(CMP)浆料的工艺条件,通过润湿性、Zeta电位及黏度的测定,研究了溶液pH值及添加分散剂等因素对水相体系纳米γ-Al2O3悬浮液分散稳定性能的影响.结果表明,在纳米γ-Al2O3固含量为6%的浆料中,加入异丙醇胺作为分散剂,其用量为γ-Al2O3粉体质量的1%,同时控制浆料的pH值约为4时,纳米γ-Al2O3粉末的润湿性能最佳,此时浆料Zeta电位值较高,黏度较小;在该条件下成功获得长时间不沉降的稳定浆料.
关键词:纳米γ-Al2O3; CMP浆料; 分散剂; 分散稳定;
【全文内容正在添加中】
