氮分压对Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层形貌与性能的影响
来源期刊：有色金属2014年第3期
论文作者：张会霞 刘崇林 卢龙
文章页码：24 - 26
关键词：梯度膜层;Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层;膜层形貌;膜层性能;
摘 要：应用多弧离子镀技术在不同的氮气分压条件下制备Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层,分析氮气分压对膜层形貌的影响和对膜层厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。结果表明,氮气分压参数设计范围内存在一个最佳值,可以获得膜层最优性能。
张会霞1，刘崇林3，卢龙1
1. 淮海工学院机械工程学院3. 江苏科技大学材料科学工程学院
摘 要：应用多弧离子镀技术在不同的氮气分压条件下制备Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层,分析氮气分压对膜层形貌的影响和对膜层厚度、结合力及显微硬度等性能的影响。结果表明,氮气分压参数设计范围内存在一个最佳值,可以获得膜层最优性能。
关键词：梯度膜层;Ti0.33Al0.67N陶瓷膜层;膜层形貌;膜层性能;
