采用新型组合光亮剂的碱性镀铜研究
来源期刊：材料保护2009年第12期
论文作者：陈雪梅 胡立新 程骄 占稳 胡传群 欧阳贵
关键词：碱性镀铜; 光亮剂; 电化学性能; 镀层形貌; 镀层结构; 择优取向; alkaline,copper electroplaring; brightening agent; dectrochemical behavior; coating morphology; coating microstructure; perferential orientation;
摘 要：将一种新型组合光亮剂用于碱性镀铜工艺中,利用极化曲线、赫尔槽样板法、扫描电子显微镜(SEM)及X射线衍射(XRD)等分析了组合光亮剂中各添加剂对镀液极化能力的影响,研究了镀液的分散、覆盖能力,镀层的结合能力、表面形貌、组成及晶体结构.结果表明:组合光亮剂中4种添加剂均能提高镀液的极化能力,在铜沉积过程中具有不同的作用;电流密度为1～10 A/dm~2时,铜镀层晶粒均匀细致;镀层厚度较薄时满足(111)和(220)晶面择优取向协同生长的方式,而中等厚度的镀层趋向于(111)晶面择优取向生长.
陈雪梅1，胡立新2，程骄2，占稳2，胡传群2，欧阳贵3
(1.黄石理工学院化工与材料学院,湖北,黄石,435003;
2.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068;
3.武汉材料保护研究所,湖北,武汉,430030)
摘要:将一种新型组合光亮剂用于碱性镀铜工艺中,利用极化曲线、赫尔槽样板法、扫描电子显微镜(SEM)及X射线衍射(XRD)等分析了组合光亮剂中各添加剂对镀液极化能力的影响,研究了镀液的分散、覆盖能力,镀层的结合能力、表面形貌、组成及晶体结构.结果表明:组合光亮剂中4种添加剂均能提高镀液的极化能力,在铜沉积过程中具有不同的作用;电流密度为1～10 A/dm~2时,铜镀层晶粒均匀细致;镀层厚度较薄时满足(111)和(220)晶面择优取向协同生长的方式,而中等厚度的镀层趋向于(111)晶面择优取向生长.
关键词:碱性镀铜; 光亮剂; 电化学性能; 镀层形貌; 镀层结构; 择优取向; alkaline,copper electroplaring; brightening agent; dectrochemical behavior; coating morphology; coating microstructure; perferential orientation;
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