高精度非接触式三维轮廓扫描仪设计

来源期刊：机械设计与制造2011年第7期

论文作者：马云峰 郑浩峻 程智锋 姚望

文章页码：189 - 191

关键词：三维轮廓扫描仪;表面形貌;非接触扫描;白光共焦;

摘    要：三维轮廓扫描仪是广泛应用于微纳表面三维形貌测量的高精度设备。基于白光共焦测量技术,提出了非接触式三维轮廓扫描仪设计方案和工作原理。扫描仪由精密扫描工作台、测量系统、光学辅助系统及控制系统组成。试制的扫描仪样机垂直测量范围为(20～400)μm,分辨率10nm,水平测量范围(100×100)mm,分辨率小于1μm。实验表明,该扫描仪可实现二维轮廓曲线和三维形貌测量,具有精度高、非接触、测量快速和测量范围宽等特点,对于实现高精度非接触式三维轮廓测量具有较高的实用价值。