立方氮化硼薄膜的制备工艺
来源期刊：材料开发与应用2009年第5期
论文作者：王钧石
关键词：立方氮化硼; 工艺; 影响因素;
摘 要：介绍了几种立方氮化硼(C-BN)薄膜的制备工艺,并对薄膜中立方氮化硼相形成的影响因素进行了讨论.
王钧石1
(1.西南交通大学,四川成都,610031)
摘要:介绍了几种立方氮化硼(C-BN)薄膜的制备工艺,并对薄膜中立方氮化硼相形成的影响因素进行了讨论.
关键词:立方氮化硼; 工艺; 影响因素;
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